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华海清科:CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖 目前已批量供货
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华海清科:CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖 目前已批量供货
2022-09-06 07:57:00
华海清科
近期接受投资者调研时称,公司CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖,目前已批量供货;14nm制程的几个关键工艺CMP设备已经在客户端同步开展验证工作。
公司的晶圆再生业务进展顺利,已通过多家客户的验证,现已实现双线运行,产能达到50K/月。此业务获得多家大生产线的批量订单,公司也正在按照计划进行扩产。
(文章来源:界面新闻)
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